Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고
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- 대상
- 중소기업
- 지원
- 전국 EUV 소재ㆍ부품ㆍ장비 관련 중소ㆍ중견기업
- 규모
- 금액 확인 필요
- 기간
- 2026-07-20 ~ 2026-11-20
결정 체크리스트
- 지원대상
- 중소기업 · 중견기업 · 중견기업
- 지원제외
- 필수제출 서류 누락 또는 허위기재가 발견된 경우 · 국가연구개발사업에 참여제한(대표자, 과제책임자 등)을 받고 있는 경우 · 현재 의무사항(각종 보고서 제출, 환수금 납부 등)을 불이행 중인 경우
- 지원내용
- 구 분 지원프로그램 내용기술지원시제품제작o 시제품 제조를 위한 합성공정 등 개발o 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원o 1기업당 15,000천원 이내 지원 기술지도o EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석 및 공정 최적화 (신규 구축 장비 및 기존 장비 활용)물성평가 지원o EUV용 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도 확인과 정성 분석, 정량 확인 등 제공지원 장비o 시제품 제작 & 기술지도
- 금액/지원율/자부담
- 기업당 15,000천원
- 신청방법
- 신청기간 2026-07-20 ~ 2026-11-20 · 접수기간 신청기간: 2026.7.20.(월)~11.20.(금),18:00 / 상시모집, 3개사 선정 이후 종료 · 신청경로 온라인
- 제출서류
- 사업자등록증 · 재무제표 · 신청서 · 납세증명서
원문 요약
산업통상자원부, 대전광역시, (재)대전테크노파크는 반도체산업의 국내 기술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보를 위해 다음과 같이 기업을 모집하오니, 관련기업의 많은 신청 바랍니다. ☞ 전국 EUV 소재ㆍ부품ㆍ장비 관련 중소ㆍ중견기업 ☞ 시제품제작, 기술지도, 물성평가 지원, 지원 장비